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高纯氮气的注意事项和处理措施

提要:


高纯氮常在外延、光刻、清洗和蒸发等工序中,作为置换、干燥、贮存和输送用气体。显像管制造中要求氮气纯度为99.99%以上。而在航天技术中,也需要高纯氮做置换气体。


1、消防措施

危险特性:若遇高热,容器内压增大,有开裂和爆炸的危险。


有害燃烧产物:氮气。

灭火方法:本品不燃。尽可能将容器从火场移至空旷处。喷水保持火场容器冷掉,直至灭火结束用雾状水保持火场中容器冷掉。可用雾状水喷淋加速液氮蒸发,但不可使用水枪射至液氮。


2、泄漏应急处理

应急处理:迅速撤离泄漏污染区人员至上风处,并进行隔离,严格控制出入。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器,穿一般作业工作服。尽可能切断泄漏源。合理通风,加速扩散。漏气容器要妥善处理,检验后再用。


3、操作处置与储存

操作注意事项:密闭操作。密闭操作,提供良好的自然通风条件。烟台压缩气体,操作人员需要经过专门培训,严格遵守操作规程。防止气体泄漏到工作场所空气中。搬运时轻装轻卸,防止钢瓶及附件破损。配备泄漏应急处理设备。


4、储存注意事项:储存于阴凉、通风的库房。远离火种、热源。库温不宜超过30℃。储区应备有泄漏应急处理设备。


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