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电子气体生产厂家 磷烷混合气 PH3气体

保定 北方特种气体有限公司,可以配比不同浓度,不同


单价: 1,000.000/件
品牌: 北方特气
气体:
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 保定 北方特种气体有限公司,可以配比不同浓度,不同钢瓶容积的磷烷、砷烷、硅烷、硼烷等电子特气。原厂品质,请放心购买。
1%PH3+H2 1+/-0.03% PH3: 6N H2O≤0.1,CO2≤0.1,N2≤0.1,O2+Ar≤0.2,AsH3≤0.1,,THC≤0.1 48.8L CGA350 100KGf/cm2 H2:O2+Ar≤0.1,N2≤0.1,CO≤0.1,CO2≤0.1,THC≤0.1,H2O≤0.1 440L DISS632 作用    在电子气家族中,硅烷、磷烷、硼烷、砷烷应用量较大,是IC制造极为重要的原料。其中的磷烷是半导体器件制造中的重要 N型掺杂源,同时磷烷还用于多晶硅化学气相沉淀、外延 Ga P材料、离子注人工艺、MO C V D工艺、磷硅玻璃(PSG)钝化膜制备等工艺中。     PH3 ,易燃、易爆、剧毒,其毒性 数为:PEL/TLV 0.3×10, STEL1×10,LC5020×1O,ZDLH200×10,属剧毒危害品。